氧化鋁陶瓷搬運(yùn)臂在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

  我們生活在科技日益發(fā)達(dá)的年代，半導(dǎo)體行業(yè)在三百六十行中占據(jù)的位置越來越廣闊，產(chǎn)業(yè)鏈也已經(jīng)十分完善了。今天來自鈞杰陶瓷的小編要講的就是半導(dǎo)體行業(yè)中要用到的陶瓷搬運(yùn)臂，眾所周知，晶圓硅晶片是十分微小的物件，并且轉(zhuǎn)移過程中必須十分小心。為了快捷安全的搬運(yùn)，人們?cè)O(shè)計(jì)出了陶瓷搬運(yùn)臂，在半導(dǎo)體工藝的整個(gè)生產(chǎn)過程中起到操縱和搬運(yùn)硅晶片的作用。它不只是可以在真空通道中承載零件，還可以處理大尺寸的晶片。

  陶瓷搬運(yùn)臂，又稱末端執(zhí)行器、陶瓷機(jī)械手等，它構(gòu)成機(jī)械臂的頂部，用于在位置之間處理和移動(dòng)半導(dǎo)體晶片。它相當(dāng)于機(jī)器人的手，因此重要的是，它的熱穩(wěn)定性和尺寸需要非常穩(wěn)定，不會(huì)污染微粒以及化學(xué)污染物室。
  經(jīng)過多年經(jīng)驗(yàn)的積累，科研人員找到了制造半導(dǎo)體陶瓷臂較為合適的材料，那便是精細(xì)陶瓷材料。用精細(xì)陶瓷材料制作的半導(dǎo)體陶瓷臂相比于其他的材料有非常大的優(yōu)勢(shì)，因?yàn)榫?xì)陶瓷材料耐高溫、耐磨性能比其他材料高上許多倍，其硬度更加是其他材料所不能比的，用精細(xì)陶瓷材料可以增強(qiáng)功能、減少對(duì)晶片/玻璃面板的損壞并阻止污染擴(kuò)散。
  在精細(xì)陶瓷材料制作的陶瓷搬運(yùn)臂中，氧化鋁材料制作的陶瓷搬運(yùn)臂性價(jià)比是其他精細(xì)陶瓷材料所不能比的。高純度的氧化鋁陶瓷，氣密性高，耐磨性強(qiáng)，防靜電，我們鈞杰陶瓷加工的氧化鋁陶瓷搬運(yùn)臂平面度甚至可以達(dá)到0.01。
  半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)臂常用于2200 ℃的高溫環(huán)境，從20 ℃ -1000 ℃到2800 ℃冰點(diǎn)的熱膨脹系數(shù)可達(dá)13* 10∧6，這點(diǎn)是許多材料達(dá)不到的要求 。但是精細(xì)陶瓷材料可以，由氧化鋁材料制作的陶瓷搬運(yùn)臂具有優(yōu)良的耐高溫能力。
  并且，半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)臂還需要高硬度和高耐磨性，精細(xì)陶瓷制作的搬運(yùn)臂的硬度不僅僅是只次于金剛石，而且其耐磨性也遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過鋼和鉻鋼的耐磨性。陶瓷搬運(yùn)臂比其他材料具有更好的耐磨性和硬度，氧化鋁陶瓷的耐磨性和硬度完全可以滿足陶瓷搬運(yùn)臂的要求，而且比起其他精細(xì)陶瓷材料的價(jià)格，它更加實(shí)惠。

  如果需要定制氧化鋁陶瓷搬運(yùn)臂，我司可以提供的陶瓷機(jī)械臂主要分為：夾持式、承重式、真空吸附式。
  當(dāng)然，我司是一家專業(yè)的陶瓷精密加工廠，除了可以定制氧化鋁陶瓷搬運(yùn)臂，還可以提供其他的陶瓷材料制作的陶瓷搬運(yùn)臂，如氧化鋯、氮化硅、碳化硅等材料的陶瓷搬運(yùn)臂。常見的陶瓷搬運(yùn)臂的尺寸有：2"、4"、6"、8"、12"，非標(biāo)尺寸也可定制。聯(lián)系電話：13712574098（微信同號(hào)）。