精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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一、材料特性概述1. 肖特微晶玻璃（SCHOTT Glass-Ceramic）
代表材料包括 ZERODUR®、NEXTREMA®、ROBAX® 等，是德國(guó)肖特公司開發(fā)的高性能微晶玻璃系列。
其特點(diǎn)是通過(guò)受控晶化技術(shù)獲得極低熱膨脹系數(shù)（幾乎為零），并具有較高的機(jī)械強(qiáng)度與熱穩(wěn)定性。.jpg)
2. 石英玻璃（Fused Silica / Quartz Glass）
由高純度二氧化硅（SiO?）熔融制成，是純度最高、透光性最優(yōu)、耐高溫性最強(qiáng)的玻璃材料之一。
在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域中是不可替代的關(guān)鍵材料。
| 性能指標(biāo) | 肖特微晶玻璃（ZERODUR®、NEXTREMA®） | 石英玻璃（Fused Silica） |
|---|---|---|
| 主要成分 | SiO?、Al?O?、TiO?、Li?O 等復(fù)合體系 | SiO? ≥ 99.99% |
| 熱膨脹系數(shù) | ≈ 0 ± 0.05 ×10?? /K（近零膨脹） | 0.5 ×10?? /K（極低） |
| 耐溫性能 | 連續(xù)工作約 600–800 °C（部分可達(dá)900 °C） | 連續(xù)工作可達(dá) 1000–1200 °C，短時(shí)1300 °C |
| 耐熱震性 | 良好，受厚度限制 | 極優(yōu)，可直接急冷急熱 |
| 透光性能 | 不透紫外，部分型號(hào)可透可見光或紅外 | 透紫外、可見與部分紅外，全波段透過(guò)率極高 |
| 機(jī)械強(qiáng)度 | 高于石英，抗彎強(qiáng)度可達(dá) >100 MPa | 較脆，抗彎強(qiáng)度約 50 MPa |
| 尺寸穩(wěn)定性 | 極佳，適合精密光學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu) | 優(yōu)秀，但熱形變略大于ZERODUR |
| 純度與雜質(zhì)控制 | 含少量晶相雜質(zhì)，不適用于等離子暴露 | 超高純度，適合真空、等離子與化學(xué)環(huán)境 |
| 成本與加工性 | 可機(jī)械加工、拋光性好，成本適中 | 加工難度高、成本高 |
三、在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用區(qū)別
| 應(yīng)用方向 | 肖特微晶玻璃 | 石英玻璃 |
|---|---|---|
| 晶圓檢測(cè)與對(duì)準(zhǔn)平臺(tái) | ? 極低膨脹率，尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異（ZERODUR®為主） | 可用但熱漂移稍大 |
| 曝光機(jī) / 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)件 | ? 用作反射鏡基座、光學(xué)平臺(tái)（ZERODUR®） | 用作透鏡、光學(xué)窗、光纖組件 |
| CVD / Etching 腔體零部件 | ? 不耐等離子體及高溫化學(xué)環(huán)境 | ? 標(biāo)準(zhǔn)材料（石英環(huán)、石英舟、石英管） |
| 測(cè)試治具 / 光學(xué)支架 | ? 尺寸穩(wěn)定、易加工 | 可用但形變控制較難 |
| 光罩基板 (Mask Blank) | ? 不透明，不適用 | ? 高純度透光材料標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng) |
在半導(dǎo)體制造中，石英玻璃是工藝接觸材料（如刻蝕腔體、CVD 管、晶舟）的首選；而肖特微晶玻璃（尤其 ZERODUR®）則是結(jié)構(gòu)件、基座、檢測(cè)平臺(tái)的理想材料，二者功能互補(bǔ)。想了解更多歡迎咨詢：13712574098
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