精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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| 產(chǎn)品名稱 | 氧化鋁對準環(huán)/支撐環(huán) |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化鋁陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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0769-82913501 |
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在半導體制造中,氧化鋁對準環(huán)/支撐環(huán)廣泛用于等離子蝕刻、薄膜沉積、晶圓清洗等工藝。其作用主要包括
1. 晶圓對準/定位環(huán)
作用：幫助晶圓在蝕刻、沉積或清洗等過程中保持精準位置；
特征對應：外圍的等距凹槽/突齒可能與腔體或設備中的其他結構“卡扣配合”，從而實現(xiàn)快速定位；
氧化鋁陶瓷可耐高溫、耐腐蝕，適合等離子體環(huán)境。
2. 晶圓傳輸夾具或支撐環(huán)
作用：作為晶圓托盤上的支撐或緩沖結構，用于穩(wěn)定承載晶圓；
中間大孔適合通晶圓，外圍結構用于卡住或限制移動。
3. 等離子蝕刻/沉積反應腔中的消耗件（Consumable Component）
作用：安裝在反應腔內，接觸或靠近等離子體，用于提供結構支撐或電氣隔離；
開口/缺口：用于讓氣體通道、電極或探針穿過的設計，屬于定制功能結構。
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陶瓷吸片從原材料到成品需要運用很多工藝，工序繁多、技術難點大。鈞杰陶瓷在吸片精密加工這一領域積累了豐富經(jīng)驗，我們從陶瓷燒結到精密加工生產(chǎn)等工序全程嚴密把控，確保吸片的品質過硬。
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