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氧化鋁陶瓷導(dǎo)軌是以高純度氧化鋁(Al?O?)陶瓷為材料制造的精密直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向部件,主要用于需要高精度、低摩擦和高穩(wěn)定性的機(jī)械系統(tǒng)。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中,它是一類重要的結(jié)構(gòu)部件,可為晶圓或檢測(cè)平臺(tái)提供穩(wěn)定、潔凈的直線運(yùn)動(dòng)。 一、材料與基本特性
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