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堇青石陶瓷之所以是光刻機制造的核心材料、難以繞開,核心在于它同時具備 “近零熱膨脹、高剛性、輕量化、高導(dǎo)熱” 四大黃金組合,完美匹配光刻機納米級精度與高速運動的極端要求,全面超越傳統(tǒng)的微晶玻璃(Zerodur)與石
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