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光刻機繞不開的堇青石陶瓷

光刻機繞不開的堇青石陶瓷，到底有什么優(yōu)勢？

堇青石陶瓷之所以是光刻機制造的核心材料、難以繞開，核心在于它同時具備 “近零熱膨脹、高剛性、輕量化、高導熱” 四大黃金組合，完美匹配光刻機納米級精度與高速運動的極端要求，全面超越傳統(tǒng)的微晶玻璃（Zerodur）與石

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