在半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與選型工作中,我們經(jīng)常接觸到堇青石(陶瓷)與微晶玻璃(如Zerodur)這兩種材料,它們同屬超低膨脹、高精密結(jié)構(gòu)材料,核心作用都是抑制熱變形、保障設(shè)備的納米級定位精度,但結(jié)合我多年的實操經(jīng)驗,二者在材質(zhì)、性能、加工、成本及適用場景上有著明
在半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)與選型工作中,我們經(jīng)常接觸到堇青石(陶瓷)與微晶玻璃(如Zerodur)這兩種材料,它們同屬超低膨脹、高精密結(jié)構(gòu)材料,核心作用都是抑制熱變形、保障設(shè)備的納米級定位精度,但結(jié)合我多年的實操經(jīng)驗,二者在材質(zhì)、性能、加工、成本及適用場景上有著明