精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568大尺寸氣浮碳化硅陶瓷導(dǎo)軌是什么？ 大尺寸氣浮碳化硅（SiC）陶瓷導(dǎo)軌是用高剛性、高硬度的硅化物陶瓷制成的線性導(dǎo)軌或平面基座，配合氣體靜壓/氣體動(dòng)壓（氣浮）軸承工作，形成微米級(jí)甚至亞微米的無(wú)接觸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，常用于超高精度運(yùn)動(dòng)與定位系統(tǒng)（如光刻、檢測(cè)與精密量測(cè)等）
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