精密陶瓷制造商
氮化鋁、氮化硅、可加工陶瓷專業(yè)生產(chǎn)加工企業(yè)
全國(guó)服務(wù)熱線
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13412856568Zerodur（微晶玻璃陶瓷）在半導(dǎo)體中，主要憑借其“幾乎零熱膨脹系數(shù)”和“超高尺寸穩(wěn)定性”發(fā)揮關(guān)鍵作用： 光刻掩膜基板 用作高精度掩膜板空白基片，保證在紫外／極紫外曝光下不變形，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形轉(zhuǎn)移。 曝光系統(tǒng)
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